PFA材料在半导体液体输送系统中的应用
半导体产业对材料的要求非常严苛,特别是在液体输送系统方面,需要材料具备较高的耐腐蚀性、耐高温性和纯度。PFA管作为一种高性能的氟塑料,凭借其卓越的化学稳定性和电气性能,成为半导体液体输送系统的理想选择。

  半导体产业对材料的要求非常严苛,特别是在液体输送系统方面,需要材料具备较高的耐腐蚀性、耐高温性和纯度。PFA管作为一种高性能的氟塑料,凭借其卓越的化学稳定性和电气性能,成为半导体液体输送系统的理想选择。

  半导体制造对超纯化学品(UPW, UHP Chemicals) 和工艺环境的纯净度要求达到ppb甚至ppt级别,任何微小污染都可能导致芯片良率下降。

  PFA高纯管是以下工艺环节的优先选择:
  超纯化学品输送:
  蚀刻液: 输送氢氟酸、硫酸、硝酸、磷酸、缓冲氧化物蚀刻液等强腐蚀性液体。
  清洗液: 输送SC1、SC2、RCA清洗液、硫酸/过氧化氢混合物、臭氧水等。
  光刻胶相关化学品: 显影液、剥离液、稀释剂等。
  CMP浆料: 输送化学机械研磨使用的研磨液。
  高纯溶剂: IPA、丙酮、NMP等。
  超纯水输送:
  在最终清洗、晶圆冲洗等环节输送UPW。
  工艺气体输送:输送高纯工艺气体(惰性气体、反应气体等),尤其是需要高洁净度和耐腐蚀性的区域。
  化学机械研磨系统:研磨液供应管路、研磨后清洗水管路.
  湿法工艺设备: 湿法刻蚀台、清洗机内部的流体管路、喷淋管、浸渍槽循环管路等。
  分析采样系统:连接在线化学浓度监测仪的采样管线,要求无污染、低吸附。

  株洲宏大作为专业的氟塑料生产厂家,拥有千级半导体无尘车间,引进国际先进的PFA管挤出设备,采用大金,科慕的正品PFA原料,拥有高精度的温度控制系统和稳定的挤出速度,能够确保PFA管在挤出过程中的性能稳定性及尺寸精准度,有通过SEMI-57认证,为半导体行业提供高品质的PFA产品,助力半导体产业稳健发展及国产化替代。